紫外焦平面阵列参数校准装置

装置简介

装置由紫外焦平面阵列响应率校准装置、响应率非均匀性校准装置、相对光谱响应校准装置、调制传递函数校准装置组成。装置采用替代法测量紫外焦平面阵列的相对光谱响应;采用刀口扫描法测量紫外焦平面阵列的调制传递函数。

主要用途

装置主要用于紫外焦平面阵列器件响应率、响应非均匀性、相对光谱响应、调制传递函数等特性参数的计量校准。

主要技术指标

波长范围:250nm400nm

响应率测量不确定度:6%k=2

响应非均匀性测量不确定度:3%k=2

相对光谱响应测量不确定度:5%k=2

    调制传递函数测量不确定度:0.12k=2